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半导体薄膜技术基础

半导体薄膜技术基础

定  价:49 元

丛书名:

抱歉,电子工业出版社不参与样书赠送活动!

  • 作者:李晓干
  • 出版时间:2018/1/1
  • ISBN:9787121328800
  • 出 版 社:电子工业出版社
  • 中图法分类:TN304.055 
  • 页码:148
  • 纸张:胶纸版
  • 版次:1
  • 开本:16K
  • 字数:(单位:千字)
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     本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍,主要包括作为*重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术,在对各种技术进行介绍的同时,还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。本书提供配套电子课件。 本书作为半导体薄膜技术的入门书籍,既有薄膜技术的基本理论介绍,又提供了大量的设备基本结构知识,可以作为微电子等相关专业学生的教学参考书,对从事薄膜技术的工程技术人员而言,也可以作为相关的参考资料。
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