本书以精密和超精密加工技术的新研究成果为主，重点介绍各种精密和超精密加工技术的原理、特点及应用。具体内容包括：精密和超精密加工技术概述、超精密切削加工和金刚石刀具、精密和超精密磨削加工、精密和超精密加工机床、研磨与抛光、超精密特种加工技术、超精密加工的影响因素和纳米技术。
前言
第一章 精密和超精密加工技术概述
第一节 精密和超精密加工技术的发展与现状
第二节 精密和超精密加工技术的作用
第三节 精密和超精密加工技术发展趋势
结束语
思考题
第二章 超精密切削加工和金刚石刀具
第一节 超精密车削技术与金刚石刀具
第二节 单晶金刚石刀具切削有色金属
第三节 单点金刚石超精密切削KDP晶体
第四节 单晶金刚石刀具超精密切削氟化钙
第五节 单点金刚石切削技术在EOS靶制备中的应用
第六节 金刚石刀具刃磨技术
思考题
第三章 精密和超精密磨削加工
第一节 概述
第二节 普通磨料砂轮精密磨削
第三节 超硬磨料砂轮精密磨削
第四节 精密和超精密磨削砂轮的选择与修整
第五节 超精密磨削加工
思考题
第四章 精密和超精密加工机床
第一节 概述
第二节 超精密加工机床现状及典型超精密机床简介
第三节 我国超精密加工设备的研发对策与展望
第四节 超精密加工机床的关键技术
第五节 超精密加工的在线检测
第六节 超精密加工的误差补偿
第七节 超精密加工的检测设备与仪器
思考题
第五章 研磨与抛光
第一节 研磨加工
第二节 抛光加工
第三节 研磨抛光新技术
第四节 曲面超精密抛光
思考题
第六章 超精密特种加工技术
第一节 概述
第二节 激光加工
第三节 电子束微细加工
第四节 离子束微细加工
第五节 微细电火花加工
第六节 超声波微细加工
第七节 电化学加工
第八节 ELID镜面磨削技术
第九节 微细磨料流加工
第十节 等离子体加工
第十一节 基于微机器人的超精密加工技术
思考题
第七章 超精密加工的影响因素
第一节 气源压力波动的影响
第二节 环境温、湿度变化和振动的影响
第三节 空气的影响
第四节 噪声的影响
第五节 其他因素的影响
思考题
第八章 纳米技术
第一节 概述
第二节 纳米尺度的表征方法
第三节 纳米级加工技术和原子操纵
思考题
参考文献
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