定 价：98 元
丛书名：21世纪先进制造技术丛书
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- 作者：张德远等编著
- 出版时间：2015/10/1
- ISBN：9787030457516
- 出 版 社：科学出版社
适用读者:机械工程、仪器科学、微电子、微机电系统等专业的本科生及研究生，相关行业的科技工作者与工程技术人员
- 中图法分类：TB303
- 页码：252
- 纸张：胶版纸
- 版次：1
- 开本：16开
- 字数：(单位：千字)
微纳米制造技术广泛应用于大规模集成电路、微机械结构、微机电系统、传感器、驱动器、功能材料与涂层等，涉及电子、机械、光学、物理、化学、材料、生物等多种学科，是制造技术的融合交叉新领域。《微纳米制造技术及应用》共分7章，内容涵盖了微机械加工、表面成膜、半导体加工、纳米制造和生物制造等，全面地讲述了微纳米加工的各种方法，每种工艺都按照由原理、工艺过程到应用特点的顺序论述，逻辑严谨、脉络清晰。《微纳米制造技术及应用》文字通俗易懂、并配有大量的图解，有利于读者对各知识点的理解、掌握和运用；参考文献翔实，适于读者拓展阅读。
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