本书对微纳制造技术的各个领域都给出了一个全面透彻的介绍, 覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺, 包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一种单项工艺, 不仅介绍了它的物理和化学原理, 还描述了用于集成电路制造的工艺设备。本书新增了制作纳米集成电路及其他半导体器件所需的各种基本单项工艺, 还介绍了22 nm 的FinFET 器件、氮化镓LED 及薄膜太阳能电池、新型微流体器件的制造工艺流程。

本书主要介绍了计算机辅助设计、有限元设计、优化设计和可靠性设计,同时还介绍了计算机辅助设计的更高阶段--智能设计、虚拟设计, 可靠性设计的更高阶段--稳健设计, 以及创新设计、绿色设计、动态设计、表面设计等,可作为当前现代设计理论与方法课程的教材.

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本书是一本针对设计类专业学生的人工智能设计的教材, 全书试图用一种通俗但学术的方式, 向设计类学生传达智能设计的理论、方法与应用, 内容包括智能设计背景与内涵、起源与发展、数据驱动的用户研究、生成设计、智能产品的设计、未来与反思。

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